Skip navigation.

Лазерные технологии

Разработка, исследование и получение наноразмерных периодических структур в пленках аморфного кремния и практическое применение лазерных технологий для обработки материалов

Исполнитель – лаборатория лазерных технологий.

Научный руководитель – академик НАН КР Кутанов А.А.

Полученные результаты:

Произведена настройка оптической системы скоростной записывающей системы для получения оптимальных оптических дифракционных элементов.

Установлено, что скоростная записывающяя система позволяет производить плоское сканирование с использованием безрезистивного способа записи с пространственным разрешением до 2000 мм-1. Запись осуществляется движущимся сфокусированным лазерным пучком в диапазоне скоростей от 10-2 до 5103 мм/с. Под действием лазерного излучения термохимические и структурные процессы происходят по всей толщине пленки аморфного кремния, а сопровождающие их изменения оптических характеристик пленки можно использовать для контроля записи топологии дифракционной структуры размером менее 50 нм.

Начата отработка метода создания наноразмерных пленочных элементов на лазерном построителе и синтеза изображения на компьютере.

В рамках совместного выполнения комплексного интеграционного проекта СО РАН «Разработка методов лазерной записи прецизионных компьютерно-синтезированных голограмм для трехмерного нанометрического контроля оптических поверхностей» отработана технология синтеза пленок аморфного кремния с заданными характеристиками, адаптированных к изготовлению синтезированных голограмм. Для выполнения данного проекта со стороны НАН КР было дополнительно выделено 100 тыс. сом.

По результатам научных исследований опубликовано 4 научных статьи.