Skip navigation.

Лаборатория лазерных технологий

Работа по проекту «Разработка и исследование наноразмерных периодических структур в пленках аморфного кремния и практическое применение лазерных технологий для обработки материалов».

Научный руководитель – академик НАН КР Кутанов А.А.
Исполнитель – Лаборатория лазерных технологий.
Срок выполнения – 2009-2011 гг.

Для проведения исследований и получения дифракционных элементов были получены аморфные пленки кремния методом термического распыления. На основе проведенных исследований получены аморфные пленки кремния толщиной 0.35 мкм.

Разрабатывается плата - интерфейс для внешнего управления импульсами УФ-лазера от компьютера.

Проводились комплексные исследования по технологии создания наноразмерных структур на пленках аморфного кремния в рамках интеграционного проекта с Институтом автоматики и электрометрии СО РАН .

Проводятся эксперименты по прямому формированию микрорельефа под действием УФ-лазера на пленках аморфного кремния. Первый шаг – запись дифракционных элементов, прямой лазерной записью на пленке -Si, напыленной на стеклянную или металлическую подложку. Контроль фокусировкой и оптимизацией размеров дифракционных элементов, получаемых при записи на высокоскоростной записывающей системе (ВСЗС), осуществляется с помощью видеокамеры и оптического микроскопа “Микро 200т-01”. В этом методе фоторезист и гальванический процесс исключены.

Проводился рентгеноструктурный и морфологический анализ полученных оптических дифракционных элементов. Рентгеноструктурный фазовый анализ проводится на рентгеновском дифрактометре ДРОН-2. Морфологический анализ проводился на сканирующем электронном микроскопе BS-300.

Были проведены исследования в Институте ВНИИОФИ (Всероссийский НИИ оптико-физических измерений) на автоматизированном интерференционном микропрофилометре МИИ-4М. Исследован микрорельеф ОДЭ, записанных на пленке аморфного кремния. Получены профилограммы ОДЭ.

Отработаны режимы лазерной обработки на коже с целью изготовления различных изделий, сувениров и государственной символики, имеющих спрос на рынке.

Результаты опубликованы в 4 научных статьях.